Формирование прозрачных электропроводящих контактов ITO на гетероструктурах на основе GaAS методом магнетронного напыления [Электронный ресурс] / С.П. Яковлев, В.В. Кораблев, И.П. Сошников и др. — (Секция6 "Технологии системного анализа научных проблем"). — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 141Кб) // Материалы...28 февраля - 1 марта 2003 г. [Электронный ресурс] / Санкт-Петербургский государственный политехнический университет; Международная академия наук высшей школы. – Санкт-Петербург, 2003. — Загл. с титул. экрана. — Электрон. версия печ. публикации. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 4.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/003005.pdf>.