Карабешкин, Константин Валерьевич. Модификация приповерхностных слоев Si, GaN и α-C:H облучением ионами PFn средних энергий [Электронный ресурс]: автореф. дис. … канд. физ.-мат. наук: 01.04.04, 01.04.10 / Карабешкин Константин Валерьевич; Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 2 Мб). — Санкт-Петербург, 2013. — Загл. с титул. экрана. — Электрон. версия печ. публикации. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Текстовой файл. — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/3011.pdf>.

Вернуться к просмотру информации о документе