Рассмотрены системы микроперемещений технологических машин, предназначенные для манипулирования миниатюрными объектами. Приведены и оценены структура и принципы построения мехатронных модулей, схемные решения модулей с пьезоэлектрическими приводами, имеющих несколько степеней свободы. Изложены основы теории и методы инженерного расчета исполнительных устройств с пьезоэлектрическими приводами. Пособие предназначено для студентов старших курсов, обучающихся по специальностям направления «Технологические машины и оборудование» и аспирантов.