Громов, Павел Юрьевич. Изучение свойств наноструктурированных пленок кремния, полученных методом плазмо-химического осаждения [Электронный ресурс]: магистерская диссертация / П.Ю. Громов; Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций, Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 4,67 Мб). — Санкт-Петербург, 2014. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Текстовый файл. — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/4179.pdf>.
|
Period
|
Read
|
Print
|
Copy
|
Open
|
Total
|
|
Year 2014
|
42
|
0
|
20
|
0
|
62
|
|
Year 2015
|
52
|
0
|
27
|
0
|
79
|
|
Year 2016
|
40
|
0
|
13
|
0
|
53
|
|
Year 2017
|
41
|
0
|
132
|
0
|
173
|
|
Year 2018
|
29
|
0
|
262
|
0
|
291
|
|
Year 2019
|
22
|
0
|
361
|
0
|
383
|
|
Year 2020
|
23
|
0
|
50
|
0
|
73
|
|
2021
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Year 2022
|
0
|
0
|
1
|
0
|
1
|
|
2023
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Year 2024
|
2
|
0
|
1
|
0
|
3
|
|
Total
|
251
|
0
|
867
|
0
|
1,118
|
