Громов, Павел Юрьевич. Изучение свойств наноструктурированных пленок кремния, полученных методом плазмо-химического осаждения [Электронный ресурс]: магистерская диссертация / П.Ю. Громов; Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций, Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 4,67 Мб). — Санкт-Петербург, 2014. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Текстовый файл. — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/4179.pdf>.
Внимание
Чтение недоступно