Зуфаров, Вадим Марсельевич. Диэлектрические свойства PECVD пленок нитрида кремния [Электронный ресурс]: бакалаврская работа / В. М. Зуфаров; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций, Физической электроники. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 1,77 МБ). — Санкт-Петербург, 2015. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/6912.pdf>.
Attention
Read is not available