Учебное пособие посвящено описанию основных закономерностей физики разряженных газов, теоретическим основам откачки газов и паров, взаимодействию газов с поверхностью, технике получения вакуума, измерения полных и парциальных давлений, основам построения и расчета вакуумных систем, особенностям использования техники получения вакуума в процессах производства микро- и наноэлектроники. Данное пособие является междисциплинарным и предназначено для студентов высших учебных заведений, специализирующихся по направлениям 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов», 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», 16.03.01 «Техническая физика», для студентов магистратуры и аспирантов, слушающих курсы в области физики низкоразмерных твердотельных структур, вакуумной техники и наноэлектроники и ведущих исследования в соответствующей области.