Вакуумная техника для производства микро- и наноэлектроники [Электронный ресурс]: учебное пособие / [М. В. Мишин, А. В. Архипов, П. Г. Габдуллин, О. Е. Квашенкина]; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 8,06 Мб). — Санкт-Петербург: ПОЛИТЕХ-ПРЕСС, 2019. — Загл. с титул. экрана. — Электронная копия печатной публикации 2019 г. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/i19-225.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/i19-225>.
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Вчера
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Последние 30 дней
|
23
|
2
|
0
|
0
|
25
|
|
Последние 365 дней
|
72
|
6
|
0
|
0
|
78
|
|
За все время
|
313
|
20
|
0
|
0
|
333
|
