?

Детальная информация
Таблица Карточка RUSMARC
Название: Расчет функции рассеяния точки с учетом двулучепреломления и частичной когерентности освещения с использованием графических процессоров // Научно-технические ведомости Санкт-Петербургского государственного политехнического университета. Сер.: Информатика. Телекоммуникации. Управление: научное издание. – 2015. –
Авторы: Никулина Екатерина Алексеевна
Организация: Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики; Министерство образования и науки Российской Федерации
Выходные сведения: Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2015
Коллекция: Общая коллекция
Тематика: Вычислительная техника; Компьютерная графика; Физика; Программирование ЭВМ. Компьютерные программы. Программотехника; Физическая оптика; графические процессоры; CUDA; двойное лучепреломление; фотолитографические системы; фотолитография; когерентность освещения; рассеяние света; рассеяние точки; поляризация
УДК: 004.92; 004.41/.42; 535.2/.3
ББК: 32.973-018.2; 32.973-018; 22.343
Тип документа: Статья, доклад
Тип файла: PDF
Язык: Русский
DOI: 10.5862/JCSTCS.229.3
Права доступа: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Ключ записи: RU\SPSTU\edoc\31223

Разрешенные действия: Прочитать Загрузить (243 Кб)

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Рассмотрено применение метода представления комплексной амплитуды через суперпозицию плоских волн для учета влияния двулучепреломления в фотолитографических системах. Изображение в проходящем свете при частично когерентном освещении проводится по методу интегрирования по источнику. Показана вычислительная сложность предложенной методики, а также отмечены преимущества использования графических процессоров для решения такого рода задач. Описаны особенности использования графических процессоров для решения неграфических задач. Приведены оценки временных затрат при расчете по описанной методике с применением как графических, так и традиционных процессоров. Показаны результаты моделирования функции рассеяния точки в различных условиях.

This paper considers an application of the method of representing a complex amplitude as a superposition of plane waves to take birefringence in photolithographic systems into account. The image in transmitted light under partially coherent lighting is conducted according to the source integral method. This paper shows the computational costs of the proposed method, also mentioning the benefits of GPU computation for problem-solving of this type. Special aspects of GPU computation for non-graphical problem-solving aredescribed. This paper introduces estimates of span time in case of computation by means of the mentioned method with GPU as well as CPU. This paper shows the results of simulating the point-spread function under different conditions.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Все Прочитать Печать Загрузить

Входит в состав

Научно-технические ведомости Санкт-Петербургского государственного политехнического университета. Сер.: Информатика. Телекоммуникации. Управление = St. Petersburg state polytechnical university journal. Computer science. Telecommunications and control systems: научное издание. — Санкт-Петербург: ПОЛИТЕХ-ПРЕСС, 2008-. № 5 (229). — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 2,6 МБ). — Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2015. — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Текстовый документ. — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/j16-52.pdf>.

Статистика использования

stat Количество обращений: 751
За последние 30 дней: 8
Подробная статистика