Разработан и исследован модуль точных перемещений двухкоординатного предметного столика микроскопа с биморфными пьезоэлектрическими актюаторами. В модуле использованы мехатронные принципы построения и параллельная кинематика. Проведено аналитическое и экспериментальное исследование модуля в квазистатическом и динамическом режимах. Построены компьютерные модели в среде Comsol Multiphysics и Matlab Simulink. Разработаны новые методы и алгоритмы управления с использованием обратных связей по положению на базе емкостных датчиков.