Диссертационное исследование посвящено разработке конструкции, методов управления и технологии изготовления нелинейных микромеханических структур с потерей устойчивости. В рамках работы были получены новые данные о механических свойствах тонкопленочных металлических композиций и динамическом поведении нелинейных микросистем. Теоретические данные, полученные в ходе численного моделирования поведения нелинейных микромеханических элементов, подтверждаются экспериментально на изготовленных прототипах устройств. Полученные результаты дают возможность совершенствования технологических и конструкционных методов проектирования и изготовления устройств микросистемной техники.