Янкевич, Глеб Андреевич. Оптимизация процесса плазмохимического травления монокристаллического кварца [Электронный ресурс]: магистерская диссертация: 22.04.01 / Г. А. Янкевич; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт металлургии, машиностроения и транспорта ; науч. рук. С. Е. Александров. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 1,74 МБ). — Санкт-Петербург, 2016. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Текстовый файл. — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/v16-3043.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/v16-3043>.

Вернуться к просмотру информации о документе