Целью данной работы являлось экспериментальное исследование оптических свойств тонких слоёв, содержащих наночастицы кремния, а именно, измерение спектров фотолюминесценции слоев, оценка эффективной ширины запрещённой зоны и средних размеров нанокристаллов в слое. Задачей работы был поиск такой оптической схемы измерения фотолюминесценции, которая позволила бы уменьшить вклад фотолюминесценции подложки и выделить на ее фоне спектр фотолюминесценции слоя с нанокристаллами кремния.

The goal of this work was the experimental research of the optical properties of thin layers containing silicon nanoparticles, namely, measuring the photoluminescence spectra of the layers, evaluation of the effective band gap and the average size of the nanocrystals in the layer. The aim of the work was to find such an optical scheme for the photoluminescence setup, which would allow reducing the contribution of the photoluminescence of the substrate and extracting spectrum of the layer with silicon nanocrystals from the background photoluminescence.