Details

Самогаев, Никита Анатольевич. Установка рефлектометрии для металлорганической газофазной эпитаксии гетероструктур [Электронный ресурс]: бакалаврская работа: 11.03.01 / Н. А. Самогаев; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций ; науч. рук. А. Я. Сергеев. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 2,30 МБ). — Санкт-Петербург, 2016. — Загл. с титул. экрана. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/v17-1392.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/v17-1392>.

Record create date: 3/16/2017

Subject: лазер; рефлектометрия; обработка сигнала

Collections: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция

Links: DOI

Allowed Actions: Read Download (2.3 Mb) You need Flash Player to read document

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Цель работы - разработка установки рефлектометрии для контроля зоны роста гетероструктур типа А3В5, выращиваемых методом металлорганической газофазной эпитаксии (МОГФЭ) и разработано техническое задание на её построение. Были реализованы новые подходы: за счет модуляции частоты излучения лазера удалось выделить из общего излучения только излучение отраженного луча лазера; детектирование по двум каналам позволило учесть собственную нестабильность работы лазера; за счет применения оптических фильтров и фокусирующих линз, а также высокой частоты оцифровки с нахождение среднего значения для каждого полупериода, была повышена точность измерения скорости роста подложки. Спроектированная установка удовлетворяет техническому заданию.

Document access rights

Network User group Action
FL SPbPU Local Network All Read Print Download
-> Internet All Read Print Download

Document usage statistics

stat Document access count: 367
Last 30 days: 7
Detailed usage statistics