| Table | Card | RUSMARC | |
|
|
Allowed Actions: –
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if you login or access site from another network
Group: Anonymous Network: Internet |
Annotation
Данная работа посвящена экспериментальному исследованию функций распределения по энергиям (ФРЭ) ионов, в высокочастотном емкостном (ВЧЕ) разряде низкого давления. Основной целью данной работы было исследование ФРЭ ионов на частоте 440 кГц. Экспериментальные данные показали, что в энергетическом спектре ионов на данной частоте присутствуют ионы высоких энергий. Ионы таких энергий не появляются в разрядах на частоте 13.56 МГц при схожих значениях амплитуды прикладываемого к разряду ВЧ напряжения.
Document access rights
| Network | User group | Action | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| ILC SPbPU Local Network | All |
|
||||
| Internet | Authorized users SPbPU |
|
||||
|
Internet | Anonymous |
Table of Contents
- Введение
- 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ.
- 1.1. Теоретические модели и основные представления физики ВЧЕ разряда.
- 1.2. Актуальные вопросы и задачи в физике ВЧЕ разряда, относящиеся к теме дипломной работы.
- 1.2.1. Моделирование емкостного разряда низкого давления
- 1.2.2 Влияние понижения частоты приложенного к разряду напряжения на плазменную обработку HEMT структур.
- 1.2.3 Анализ движения иона под действием переменного электрического поля.
- 1.3. Выводы из обзора литературы и постановка задачи дипломной работы.
- 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА И МЕТОДИКА ИЗМЕРЕНИЙ.
- 2.1. Разрядная камера и вакуумная система.
- 2.2. Электрическая схема установки.
- 2.3 Анализатор энергий заряженных частиц.
- 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ РЕЗУЛТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ.
- 3.1. Экспериментальные результаты.
- 3.2. Обсуждение экспериментальных результатов и выводы из работы.
- 4. ВЫВОДЫ ИЗ ДИПЛОМНОЙ РАБОТЫ.
- 5. СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ.
Usage statistics
|
|
Access count: 232
Last 30 days: 0 Detailed usage statistics |