Данная работа посвящена экспериментальному исследованию функций распределения по энергиям (ФРЭ) ионов, в высокочастотном емкостном (ВЧЕ) разряде низкого давления. Основной целью данной работы было исследование ФРЭ ионов на частоте 440 кГц. Экспериментальные данные показали, что в энергетическом спектре ионов на данной частоте присутствуют ионы высоких энергий. Ионы таких энергий не появляются в разрядах на частоте 13.56 МГц при схожих значениях амплитуды прикладываемого к разряду ВЧ напряжения.

• Введение
• 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ.
  • 1.1. Теоретические модели и основные представления физики ВЧЕ разряда.
  • 1.2. Актуальные вопросы и задачи в физике ВЧЕ разряда, относящиеся к теме дипломной работы.
    • 1.2.1. Моделирование емкостного разряда низкого давления
    • 1.2.2 Влияние понижения частоты приложенного к разряду напряжения на плазменную обработку HEMT структур.
    • 1.2.3 Анализ движения иона под действием переменного электрического поля.
  • 1.3. Выводы из обзора литературы и постановка задачи дипломной работы.
• 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА И МЕТОДИКА ИЗМЕРЕНИЙ.
  • 2.1. Разрядная камера и вакуумная система.
  • 2.2. Электрическая схема установки.
  • 2.3 Анализатор энергий заряженных частиц.
• 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ РЕЗУЛТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ.
  • 3.1. Экспериментальные результаты.
  • 3.2. Обсуждение экспериментальных результатов и выводы из работы.
• 4. ВЫВОДЫ ИЗ ДИПЛОМНОЙ РАБОТЫ.
• 5. СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ.