В магистерской диссертации проведена работа по теоретическому и экспериментальному исследованию взаимодействия плазмы ВЧ-разряда с поверхностью кварцевого стекла применительно к системе чистки защитного окна для диагностики диверторного томпсоновского рассеяния ИТЭР. В первой главе описаны условия и параметры очистки оптических поверхностей в ИТЭР, физические процессы, происходящие при этом. Во второй главе описано экспериментальное исследование и численное моделирование ВЧ-разряда емкостного типа, определены основные параметры плазмы и потока частиц. В третьей главе исследованы процессы, сопровождающие взаимодействие плазмы с диэлектрическими поверхностями.