В дипломную работу входят 7 глав, включая введение и итоговое заключение. Объектом исследования при написании работы послужила низкотемпературная плазма ECR разряда. Предметом исследования послужили результаты диагностики Ленгмюровского Зонда. В работе проведен обзор применения пылевой плазмы в различных отраслях промышленности и науки. Во время работы был разработан системный анализ обработки ВАХ Ленгмюровского зонда. Были определены параметры плазмы в ECR реакторе для его дальнейшего использования при работе с пылевой плазмой. Также был спроектирован многосеточный анализатор для определения потока ионов на стенку.