В оптотехнике актуальной проблемой является формирование рельефа с микро- и наноразмерами. Получение определённого рельефа в заданной структуре лежит в основе разработок микрофлюидных чипов. Поляризация стекол с использованием рельефных анодных электродов в комбинации с методом плазмохимического травления может стать основой для получения 2D рельефов на поверхности стекол - по сути, новой литографической технологии, существенной особенностью которой является то, что это будет «сухая» технология.