Детальная информация

Название: Газофазное осаждение композитных слоев SiO2-TiO2 из элементоорганических реагентов: бакалаврская работа: 22.03.01
Авторы: Клюева Евгения Николаевна
Научный руководитель: Мишин Максим Валерьевич
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2017
Коллекция: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Тематика: диоксид титана; диоксид кремния; химическое осаждение из газовой фазы; композитные слои
Тип документа: Выпускная квалификационная работа бакалавра
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Код специальности ФГОС: 22.03.01
Группа специальностей ФГОС: 220000 - Технологии материалов
Ссылки: http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/v17-3414

Разрешенные действия: Прочитать Загрузить (1,5 Мб) Для чтения документа необходим Flash Player

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Локальная сеть ИБК СПбПУ

Аннотация

Исследовано газофазное осаждение композитных слоев SiO2-TiO2 с использованием тетраизопропилат титана (ТИПТ), тетраэтоксисилан (ТЭОС) и декаметилциклопентасилоксан (ДМПС). Была получена зависимость скорости осаждения и показателя преломления от соотношения парциальных давлений подаваемых в реактор реагентов. Осаждение проводилось при температуре 280 оС и давлении 2 кПа. Анализ ИК-спектров полученных образцов показал, что полученные образцы не демонстрируют никаких поглощений, присущих диоксиду титана. Можно предположить, что мы имеем дело со смесью силиката титана и диоксида кремния.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
-> Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
Интернет Все Прочитать Печать Загрузить

Статистика использования документа

stat Количество обращений: 759
За последние 30 дней: 21
Подробная статистика