Детальная информация

Клюева, Евгения Николаевна. Газофазное осаждение композитных слоев SiO2-TiO2 из элементоорганических реагентов [Электронный ресурс]: бакалаврская работа: 22.03.01 / Е. Н. Клюева; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт металлургии, машиностроения и транспорта ; науч. рук. М. В. Мишин. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 1,52 МБ). — Санкт-Петербург, 2017. — Загл. с титул. экрана. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/v17-3414.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/v17-3414>.

Дата создания записи: 03.10.2017

Тематика: диоксид титана; диоксид кремния; химическое осаждение из газовой фазы; композитные слои

Коллекции: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция

Ссылки: DOI

Разрешенные действия: Прочитать Загрузить (1,5 Мб) Для чтения документа необходим Flash Player

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Исследовано газофазное осаждение композитных слоев SiO2-TiO2 с использованием тетраизопропилат титана (ТИПТ), тетраэтоксисилан (ТЭОС) и декаметилциклопентасилоксан (ДМПС). Была получена зависимость скорости осаждения и показателя преломления от соотношения парциальных давлений подаваемых в реактор реагентов. Осаждение проводилось при температуре 280 оС и давлении 2 кПа. Анализ ИК-спектров полученных образцов показал, что полученные образцы не демонстрируют никаких поглощений, присущих диоксиду титана. Можно предположить, что мы имеем дело со смесью силиката титана и диоксида кремния.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Все Прочитать Печать Загрузить

Статистика использования документа

stat Количество обращений: 0
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика