Детальная информация

Моор, Светлана Юрьевна. Плазмохимическое травление кремния в емкостно-связанном ВЧ разряде [Электронный ресурс]: магистерская диссертация: 22.04.01 / С. Ю. Моор; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт металлургии, машиностроения и транспорта ; науч. рук. А. И. Демидов. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 2,87 Мб). — Санкт-Петербург, 2017. — Загл. с титул. экрана. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/v17-3425.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/v17-3425>.

Дата создания записи: 13.10.2017

Тематика: Плазменная обработка; Газовый разряд высокочастотный; плазмохимическое травление; технологические параметры; плазмохимическая полировка

УДК: 621.794.6(043.3)

Коллекции: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция

Ссылки: DOI

Разрешенные действия: Прочитать Загрузить (2,9 Мб) Для чтения документа необходим Flash Player

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Разработана и собрана установка для плазмохимического травления материалов при пониженном давлении. Было изучено влияние технологических параметров на скорость плазмохимического травления.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Все Прочитать Печать Загрузить

Статистика использования документа

stat Количество обращений: 526
За последние 30 дней: 36
Подробная статистика