В работе произведён обзор и анализ существующих методов высокоточного интерферометрического контроля оптических поверхностей. Рассмотрена типовая структура автоматизированной интерференционной системы контроля. Представлены необходимые теоретические сведения о методике интерференционного контроля. Разработан программно-аппаратный комплекс для захвата и обработки интерферограмм от поверхности дифракционных решеток. Произведен выбор и обоснование используемого оборудования. Разработаны электрическая принципиальная схема МКСУ, схема алгоритма работы МКСУ, схема алгоритма работы комплекса. Разработано программное обеспечение для МКСУ, обеспечивающее получение информации от ПЗС-матрицы и её передачу с помощью разработанного протокола на ПК оператора. Реализован протокол работы с ПЗС матрицей. Разработан интерфейс пользователя (виртуальный пульт управления оператора) в среде LabVIEW, позволяющий: задавать настройки работы комплекса и ПЗС-матрицы, наглядно отображать получаемые данные, проводить дополнительную обработку интерферограмм, производить расчеты характеристик интерференционных полос, визуализировать результаты контроля, отображать промежуточное выкладки, диагностировать наличие дефекта исследуемой поверхности дифракционной решетки. Разработанный комплекс протестирован и успешно апробирован в реальных условиях работы.

In thesis were reviewed and analyzed of the existing methods of high-precision interferometry monitoring of optical surfaces is made. Considered a standard structure of the automated interference monitoring system. Necessary theoretical data on a technique of interference monitoring were presented. The hardware and software system is developed for capture and processing of interferograms from a surface of diffraction gratings. Made a choice and reasons for the used equipment. Developed the electric schematic diagram MKSU, the diagram of algorithm of operation of MCU system, the diagram of algorithm of operation of a complex. Developed the software for MCU system providing information from the CCD and its transmission by means of the developed protocol to the operator's PC. Realized the protocol of CCD. Developed the user's interface (the virtual control panel of the operator) in the environment of LabVIEW which allow: to set settings of operation of a complex and the CCD, to visually display the obtained data, to carry out additional processing of interferograms, to make calculations of characteristics of interference fringes, to visualize results of monitoring, to display the intermediate calculations, to diagnose existence of defect of the researched surface of diffraction grating. The developed system was successfully tested in practice.