?

Детальная информация
Таблица Карточка RUSMARC
Название: Ионно-лучевое травление пьезоматериалов: выпускная квалификационная работа бакалавра: 22.03.01 - Материаловедение и технологии материалов
Авторы: Белавина Наталья Александровна
Научный руководитель: Шахмин Александр Львович
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2018
Коллекция: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Тематика: ниобат лития; танталат лития; пьезокварц; акустоэлектроника; фотоника
Тип документа: Выпускная квалификационная работа бакалавра
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Уровень высшего образования: Бакалавриат
Код специальности ФГОС: 22.03.01
Группа специальностей ФГОС: 220000 - Технологии материалов
Ссылки: Отзыв руководителя
DOI: 10.18720/SPBPU/2/v18-1799
Права доступа: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Ключ записи: RU\SPSTU\edoc\54336

Разрешенные действия: –

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

В данной работе проведены исследования влияния технологических параметров процесса ионно-лучевого травления на скорость травления пьезоматериалов, а в частности, влияние мощности ICP – источника и угла падения ионов на скорость травления. Выявлены оптимальные параметры процесса ИЛТ для достижения максимальной скорости травления.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
Интернет Авторизованные пользователи СПбПУ Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Анонимные пользователи

Статистика использования

stat Количество обращений: 210
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика