Детальная информация

Долженко, Дмитрий Игоревич. Диэлектрические свойства и радиационная стойкость слоев оксида алюминия, полученных методом атомно-слоевого осаждения [Электронный ресурс]: выпускная квалификационная работа магистра: 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника ; 11.04.04_03 – Органическая электроника / Д. И. Долженко; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций ; науч. рук. В. М. Капралова. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 2,25 Мб). — Санкт-Петербург, 2018. — Загл. с титул. экрана. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/v18-2578.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/v18-2578>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/rev/v18-2578-o.pdf>.

Дата создания записи: 28.11.2018

Тематика: Диэлектрики — Пробой; Диэлектрическая проницаемость; атомно-слоевое осаждение; радиационная стойкость; подвижность носителей заряда

УДК: 537.226

Коллекции: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция

Ссылки: DOI; Отзыв руководителя

Разрешенные действия: Прочитать Для чтения документа необходим Flash Player

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Измерены диэлектрические параметры слоев оксида алюминия, нанесенных методом ALD. Определены диэлектрические параметры оксида алюминия и построены их частотные зависимости. Получены данные о радиационной стойкости. Составлены карты диэлектрической однородности и толщины слоя диэлектрика.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать
-> Интернет Все Прочитать

Статистика использования документа

stat Количество обращений: 35
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика