Детальная информация

Алемаскин, Никита Денисович. Исследование ионно-плазменных методов осаждения изоляционных ALN-покрытий, выбор оптимального технологического процесса [Электронный ресурс]: выпускная квалификационная работа магистра: 03.04.02 - Физика ; 03.04.02_03 - Физика ядра и элементарных частиц / Н. Д. Алемаскин; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций ; науч. рук. Д. А. Карпов. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 1,99 Мб). — Санкт-Петербург, 2018. — Загл. с титул. экрана. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/v18-5622.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/v18-5622>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/rev/v18-5622-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/rev/v18-5622-r.pdf>.

Дата создания записи: 29.11.2018

Тематика: Металлизация в вакууме; Катодное распыление; Металлопокрытия; Газовый разряд

УДК: 621.793.1

Коллекции: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция

Ссылки: DOI; Отзыв руководителя; Рецензия

Разрешенные действия: Прочитать Для чтения документа необходим Flash Player

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Объектом исследования являются покрытия, полученные методами магнетронного и электродугового испарения. Цель работы – получение изоляционных покрытий AlN методами магнетронного распыления и вакуумно-дугового испарения, изучение свойств полученных покрытий, определение наиболее пригодного метода для получения AlN покрытий, а также анализ поведения параметров разряда во время процесса напыления. В процессе работы проводились эксперименты по напылению в вакуумной установке и анализ полученных покрытий. В результате исследования было выяснено, что покрытия, полученные магнетронным распылением в режиме стабилизации по напряжению, показывают наилучшие свойства, также при наличии ограничения по толщине будут наиболее пригодны покрытия, полученные комбинированным способом.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать
-> Интернет Все Прочитать Печать

Оглавление

  • ВВЕДЕНИЕ
  • ГЛАВА 1. ТЕХНИКА МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ И ЭЛЕКТРОДУГОВОГО ИСПАРЕНИЯ
    • 1.1. Магнетронное распыление
    • 1.2. Электродуговое испарение
      • 1.2.1. Фильтрация плазмы с ЭДИ
    • 1.3. Схема проведения экспериментов
  • ГЛАВА 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
    • 2.2. Вакуумная камера и внутрикамерная оснастка
    • 2.3. Система вакуумной откачки
    • 2.4. Система подачи технологических газов
    • 2.5. Система охлаждения
    • 2.6. Система прогрева вакуумной камеры
    • 2.7. Устройство ионной очистки вакуумной камеры и подложек в тлеющем разряде
    • 2.8. Электродуговой источник
      • 2.8.1. Плазмооптическая система фильтрации от капельной фазы плазмы электродугового источника
    • 2.9. Магнетронная распылительная система
    • 2.10. Электрооборудование
    • 2.11. Средства исследования покрытий
  • ГЛАВА 3. ЭКСПЕРИМЕНТЫ ПО ЭЛЕКТРОДУГОВОМУ ОСАЖДЕНИЮ AlN
    • 3.1. Постановка эксперимента
    • 3.2. Исследование плазмы, выходящей из сепаратора при помощи цилиндров Фарадея.
    • 3.3. Результаты экспериментов по электродуговому осаждению AlN
    • 3.4. Исследование на пробой образцов, напыленных с помощью ЭДИ, с использованием сепаратора и локального объема газонапуска
    • 3.5. Выводы
  • ГЛАВА 4. ЭКСПЕРИМЕНТЫ ПО МАГНЕТРОННОМУ ОСАЖДЕНИЮ AlN
    • 4.1. Постановка эксперимента
    • 4.2. Результаты экспериментов по магнетронному осаждению AlN в режиме стабилизации по мощности
      • 4.2.1 Влияние отжига на покрытые AlN образцы из нержавеющей стали
      • 4.2.2. Напыление нитрида алюминия на образцы из карбида вольфрама
      • 4.2.3. Напыление AlN на подложку из тантала
    • 4.3. Выводы
    • 4.4. Результаты осаждения покрытий AlN в режиме стабилизации по напряжению
  • ГЛАВА 5. ЭКСПЕРИМЕНТЫ С КОМБИНИРОВАННЫМ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМ ПРОЦЕССОМ ОСАЖДЕНИЯ AlN
    • 5.1. Описание эксперимента
    • 5.2. Результаты экспериментов с комбинированным технологическим процессом осаждения AlN
    • 5.2. Выводы
  • ГЛАВА 6. ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ КАРТА ОПТИМАЛЬНОГО ПРОЦЕССА ОСАЖДЕНИЯ AlN
    • 6.1. Технологическая карта процесса нанесения покрытия с помощью магнетрона
    • 6.2. Технологическая карта процесса электродугового напыления
  • ЗАКЛЮЧЕНИЕ
  • СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
  • ПРИЛОЖЕНИЕ №1
  • ПРИЛОЖЕНИЕ №2
  • ПРИЛОЖЕНИЕ №3
  • ПРИЛОЖЕНИЕ №4
  • ПРИЛОЖЕНИЕ №5
  • ПРИЛОЖЕНИЕ №6
  • ПРИЛОЖЕНИЕ №7

Статистика использования документа

stat Количество обращений: 40
За последние 30 дней: 4
Подробная статистика