Алемаскин, Никита Денисович. Исследование ионно-плазменных методов осаждения изоляционных ALN-покрытий, выбор оптимального технологического процесса [Электронный ресурс]: выпускная квалификационная работа магистра: 03.04.02 - Физика ; 03.04.02_03 - Физика ядра и элементарных частиц / Н. Д. Алемаскин; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций ; науч. рук. Д. А. Карпов. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 1,99 Мб). — Санкт-Петербург, 2018. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/v18-5622.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/v18-5622>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/rev/v18-5622-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/rev/v18-5622-r.pdf>.
Внимание
Чтение недоступно