?

Details
Table Card RUSMARC
Title: Создание микромеханического переключателя для инфракрасного излучения: выпускная квалификационная работа магистра: 22.04.01 - Материаловедение и технологии материалов ; 22.04.01_01 - Материаловедение наноматериалов и компонентов электронной техники
Creators: Аскинази Виктория Анатольевна
Scientific adviser: Шахмин Александр Львович
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта
Imprint: Санкт-Петербург, 2018
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: Электростатика; Переключатели; Инфракрасная техника; Инфракрасные лучи; актюаторы; кантилевер; поверхностная микрообработка
UDC: 621.384.3
Document type: Master graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Level of education: Master
Speciality code (FGOS): 22.04.01
Speciality group (FGOS): 220000 - Технологии материалов
Links: Отзыв руководителя; Рецензия
DOI: 10.18720/SPBPU/2/v18-889
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key: RU\SPSTU\edoc\53393

Allowed Actions: –

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Настоящая работа выполнялась в интересах АО "РКЦ "Прогресс"-НПП "Оптэкс" (Зеленоград) для использования при производстве космических аппаратов класса «Ресурс». В данной работе изложена сущность подхода к созданию микромеханического переключателя для инфракрасного излучения на основе технологии поверхностной микрообработки кремния. Изучены принципы работы подобных микромеханических систем. Разработан технологический маршрут изготовления. Проведен анализ влияния конструктивных изменений переключателя на напряжение срабатывания.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU Read Print Download
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 149
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics