В данной работе изложены результаты изучения релаксации объема поляризованных стекол при температурах выше температуры поляризации (плоть до температур стеклования). Показано, что при высокотемпературном отжиге поляризованных областей стекол их объем может уменьшиться до трех раз. Даны термодинамическое и реологическое объяснение наблюдаемого эффекта. Изученный эффект рассматривается в контексте разработки новой сухой литографической технологии формирования поверхностных рельефных структур, основанной на использовании поляризации многокомпонентных стекол с помощью структуированных (рельефных) электродов, для задач микрофлюидики, дифракционной оптики, интегральной оптики и других применений.