Details

Title: Разработка оборудования для экспресс-анализа концентраций примесей в полупроводниковых материалах методом статической фурье-спектроскопии: автореф. дис. … канд. техн. наук: 05.27.06
Creators: Белаш Александр Олегович
Organization: Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
Imprint: СПб., 2012
Collection: Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Subjects: Полупроводники — Примеси; Фурье-спектроскопия
UDC: 537.311.322:535.33(043.3); 681.785.574(043.3)
Document type: Author's Abstract
File type: PDF
Language: Russian
Rights: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key: RU\SPSTU\edoc\19180

Allowed Actions: Read Download (0.8 Mb)

Group: Anonymous

Network: Internet

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
-> Internet All Read Print Download

Usage statistics

stat Access count: 823
Last 30 days: 9
Detailed usage statistics