Рассматриваются физические процессы, протекающие в низкотемпературной плазме газового разряда. Приведены характеристики основных типов газовых разрядов. Содержит описание и теорию прохождения электрического тока через газы. Приводятся модели для описания положительного столба разряда. Показано влияние магнитного поля на свойства плазмы. Рассматриваются существующие методы зондовой диагностики плазмы. Приведены основные типы технологических устройств на основе газового разряда. Представлены конструкции и режимы работы оборудования.