Осипов, Артём Арменакович. Разработка и создание прототипа универсальной установки плазмохимического травления различных материалов электронной техники [Электронный ресурс]: выпускная квалификационная работа магистра: 15.04.03 - Прикладная механика ; 15.04.03_04 - Технологии виртуального инжиниринга = Development and creation of a prototype universal installation for plasma chemical etching of various electronic equipment materials / А. А. Осипов; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт машиностроения, материалов и транспорта ; науч. рук. А. К. Кузин. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 3,3 Мб). — Санкт-Петербург, 2019. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/vr18-271.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr18-271>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr18-271-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr18-271-r.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr18-271-a.pdf>.
Внимание
Чтение недоступно