Детальная информация

Милентьев, Артем Сергеевич. Экспериментальное исследование диффузионного легирования монокристаллического кремния магнием [Электронный ресурс] = Expiremental research of diffusion doping of monocrystalline silicon with magnesium: выпускная квалификационная работа бакалавра: 11.03.04 - Электроника и наноэлектроника ; 11.03.04_04 - Микроэлектроника и твердотельная электроника / А. С. Милентьев; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций ; науч. рук. Д. А. Фирсов. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 1,2 Мб). — Санкт-Петербург, 2019. — Загл. с титул. экрана. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/vr19-1356.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-1356>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1356-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1356-a.pdf>.

Дата создания записи: 26.08.2019

Тематика: двойной донор; межузельный донор; диффузия; легирование; кремний; магний; double donor; interstitial donor; diffusion; doping; silicon; magnesium

Коллекции: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция

Ссылки: DOI; Отзыв руководителя; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований

Разрешенные действия: Прочитать Загрузить (1,2 Мб) Для чтения документа необходим Flash Player

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Проанализирована литература по исследованию Mg в Si. Апробирована технология диффузии с помощью «сэндвич» – метода Mg в Si по исследованию температурной зависимости концентрации свободных электронов (эффект Холла) в объемно-легированных образцах. Измерены пространственные распределения электрически активного магния в кремнии в образцах с односторонней диффузией. Из этих данных получены эффективные значения коэффициента диффузии магния в кремнии при температурах и при длительности диффузионного процесса 7.5 часов. Кратко обсуждаются основные особенности полученных данных.

The literature on the study of Mg in Si was analyzed. Diffusion technology Mg in Si with «sandwich» – method was approved by concentration of free electrons dependence on temperature (Hall effect) in doped bulk samples. Distribution of electrically active magnesium in silicon samples with oneside diffusion was researched. From these data was obtained the effective magnesium diffusion coefficient in silicon for diffusion temperatures and with a diffusion time of 7.5 hours. The principal features were discussed briefly from the data obtained.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Все Прочитать Печать Загрузить

Статистика использования документа

stat Количество обращений: 22
За последние 30 дней: 1
Подробная статистика