Таблица | Карточка | RUSMARC | |
Разрешенные действия: –
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Группа: Анонимные пользователи Сеть: Интернет |
Аннотация
В данной работе изложена сущность создания затворов микронных размеров для СВЧ монолитных интегральных схем и HEMT транзисторов на основе нитрида галлия с использованием электронно-лучевой литографии. Определены возможности изготовления минимальных затворов на установке электронно-лучевой литографии.
This graduation work describes the essence of creating micron-sized gates for microwave monolithic integrated circuits and gallium nitride-based HEMT transistors using electron beam lithography. The possibilities of manufacturing minimal gates on the installation of electron-beam lithography are determined.
Права на использование объекта хранения
Место доступа | Группа пользователей | Действие | ||||
---|---|---|---|---|---|---|
Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все | |||||
Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ | |||||
Интернет | Анонимные пользователи |
Статистика использования
Количество обращений: 26
За последние 30 дней: 0 Подробная статистика |