?

Details
Table Card RUSMARC
Title: Исследование формирования затворов монолитных интегральных схем на основе нитрида галлия: выпускная квалификационная работа бакалавра: 28.03.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника ; 28.03.01_01 - Технологии материалов и изделий микросистемной техники
Creators: Цверкун Алена Сергеевна
Scientific adviser: Соловьев Юрий Владимирович
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта
Imprint: Санкт-Петербург, 2019
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: СВЧ транзистор на основе гетероструктуры AlGaN/GaN; электронно-лучевая литография; затворы СВЧ транзисторов; microwave transistor based on AlGaN/GaN heterostructure; electron-beam lithography; gate of uhf transistors
Document type: Bachelor graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Level of education: Bachelor
Speciality code (FGOS): 28.03.01
Speciality group (FGOS): 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы
Links: Отзыв руководителя; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-1660
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Record key: ru\spstu\vkr\1156

Allowed Actions: –

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

В данной работе изложена сущность создания затворов микронных размеров для СВЧ монолитных интегральных схем и HEMT транзисторов на основе нитрида галлия с использованием электронно-лучевой литографии. Определены возможности изготовления минимальных затворов на установке электронно-лучевой литографии.

This graduation work describes the essence of creating micron-sized gates for microwave monolithic integrated circuits and gallium nitride-based HEMT transistors using electron beam lithography. The possibilities of manufacturing minimal gates on the installation of electron-beam lithography are determined.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read
Internet Authorized users SPbPU Read
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 26
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics