Литературный обзор содержит основные теоретические обоснования методов нанесения тонких пленок, расчетные характеристики данных методов и области применения данных технологий. В работе приведена вакуумная схема установки вакуумного напыления. Экспериментальная часть описывает получение биметаллических пленок в плазме магнетронного разряда. В исследовательской части описываются спектры пропускания в ИК области полученных образцов.

The literature review contains the basic theoretical substantiations of thin film deposition methods, the calculated characteristics of these methods and the field of application of these technologies. The paper presents the vacuum circuit of the vacuum deposition unit. The experimental part describes the preparation of bimetallic films in a plasma of the magnetron discharge. The research part describes the transmission spectra in the IR area of the obtained samples.