Макурин, Илья Владимирович. Модернизация установки плазмохимического травления различных материалов электронной техники [Электронный ресурс]: выпускная квалификационная работа бакалавра: 28.03.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника ; 28.03.01_01 - Технологии материалов и изделий микросистемной техники = Modernization of plasma-chemical etching of various electronic materials / И. В. Макурин; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт металлургии, машиностроения и транспорта ; науч. рук. Д. К. Таганцев. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 1,1 Мб). — Санкт-Петербург, 2019. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/vr19-2303.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-2303>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-2303-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-2303-a.pdf>.
Внимание
Чтение недоступно