Table | Card | RUSMARC | |
Allowed Actions: –
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if you login or access site from another network
Group: Anonymous Network: Internet |
Annotation
В работе сделан обзор литературных данных по теме исследования, о методах процесса напыления металлов и моделирования данных процессов.
The paper provides an overview of the literature data on the research topic, on the methods of the process of sputtering metals and modeling these processes.
Document access rights
Network | User group | Action | ||||
---|---|---|---|---|---|---|
ILC SPbPU Local Network | All | |||||
Internet | Authorized users SPbPU | |||||
Internet | Anonymous |
Table of Contents
- Введение.
- 1. Вакуумное напыление.
- 1.1 Моделирование процесса напыления тонких пленок вакуумным испарением.
- 2. Плазменное напыление.
- 2.2. Моделирование процесса плазменного напыления.
- 3. Газодинамический способ
- 3.1 Моделирование адгезионного взаимодействия частиц с преградой при ГН.
- Выводы.
- Список литературы.
Usage statistics
Access count: 30
Last 30 days: 0 Detailed usage statistics |