Добротность колебательного контура чувствительного элемента МЭМС-датчика зависит от многих факторов, в том числе от геометрии чувствительного элемента и степени вакуумирования. Разрабатываемые микромеханические элементы могут выполнять задачи измерения ускорения, угловой скорости, давления и т. д. Чувствительный элемент размещают в отдельном корпусе с определенной газовой средой, состояние которой оказывает влияние на характеристики прибора. В работе предложен метод определения зависимости добротности колебательного контура чувствительного элемента МЭМС-датчика от степени вакуумирования. Представлен стенд для проведения исследований. На основе полученных экспериментальных данных проведены численные расчеты добротности. Установлено, что степень вакуумирования оказывает существенное влияние на добротность колебательного контура.

The merit factor of oscillating circuit of the MEMS sensor’s sensitive element depends on numerous factors, in particular on sensitive element geometry and vacuum degree. Micromechanical elements under development can perform tasks of measuring acceleration, angular rate, pressure, etc. Sensitive element is placed in a separate cell box with specified gas filling, the state of which influences the instrument capabilities. In this work, a method for determination of MEMS sensor sensitive element’s oscillating circuit merit factor dependence on vacuum degree is proposed. A test setup for research is described. Based on the experimental data obtained, numeric calculations of merit factor were performed. It has been established that vacuum degree exerts a significant impact on the merit factor of oscillating circuit.