Table | Card | RUSMARC | |
|
Annotation
Проведено экспериментальное исследование новых опытных образцов тонкопленочных ТЭГ, изготовленных методом электрохимического осаждения функциональных полупроводниковых слоев, совместимых с технологией МЭМС (МЭМС ТЭГ). Из серии экспериментов были выделены наиболее перспективные образцы с наилучшими характеристиками по выходной мощности.