Рассмотрена "нуль-методика" обобщенной эллипсометрии с использованием бескомпенсаторной схемы поляризатор-образец-анализатор при падении на анизотропную систему s- или p-поляризованного света. Приведены аналитические выражения, связывающие измеряемую угловую величину --- азимут анализатора в минимуме интенсивности детектируемого излучения --- с элементами (2x2) анизотропной матрицы Джонса. Для определения оптико-геометрических параметров исследуемых анизотропных систем предлагается использовать зависимость этой величины от ориентации (азимута) образца. Оценена чувствительность метода. Установлено, что она сравнима с чувствительностью схемы поляризатор-компенсатор-образец-анализатор. Проведен сравнительный анализ данного метода с известным фотометрическим методом обобщенной эллипсометрии в схеме поляризатор-образец-анализатор, основанном на измерении зависимости интенсивности отраженного света от азимута образца при фиксированных положениях поляризатора и анализатора. Для получения одинаковой чувствительности этих двух методов погрешности в одну угловую минуте в предлагаемом методе соответствует относительная погрешность определения энергетического коэффициента отражения 0.05% в фотометрическом методе обобщенной эллипсометрии.

The -method in generalized ellipsometry with the use of the compensator-free “polarizer - sample - analyzer” scheme is considered for the case of s- and p-polarized incident light on an anisotropic system. Analytical expressions are given that connect the measured angular value - the analyzer azimuth at the detected radiation intensity minimum - with the (2x2) anisotropic Jones matrix elements. To determine the optical and geometric parameters of the studied anisotropic systems, it is proposed to use this value’s dependence on the sample orientation (azimuth). The method sensitivity is estimated. It was found that it is comparable to the sensitivity of the “polarizer-compensator-sample-analyzer” scheme. A comparative analysis of this method and the known photometric method of generalized ellipsometry in the “polarizer-sample-analyzer” scheme based on measuring the dependence of the reflected light intensity on the sample azimuth at the fixed polarizer and analyzer positions is carried out. It is estimated that, to obtain the same sensitivity of these two methods, the one arc minute error in the proposed method corresponds to the 0.05% relative error in determining the energy reflection coefficient in the photometric method.