Детальная информация
| Название | Расчет формы границы раздела между раплавом и кристаллом кремния в промышленной установке // Материалы...26 ноября - 1 декабря 2001 года. – Физико-механический факультет, Институт интеллектуальных систем и технологий и факультет медицинской физики и биоинженерии |
|---|---|
| Авторы | Луканина М.А.; Калаев В.В. |
| Другие авторы | Глухов Владимир Викторович |
| Организация | Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Юбилейная неделя науки (30; 2001; Санкт-Петербург); СПбГПУ. Физико-механический факультет; Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов |
| Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2002 |
| Коллекция | Общая коллекция |
| Тематика | полупроводниковая промышленность; монокристаллы; установка Чохральского; численное моделирование |
| УДК | 662.642:621.926.7 |
| Тип документа | Статья, доклад |
| Тип файла | |
| Язык | Русский |
| Права доступа | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\2092 |
| Дата создания записи | 19.12.2002 |
| Место доступа | Группа пользователей | Действие |
|---|---|---|
| Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
| Интернет | Все |
|
Количество обращений: 1103
За последние 30 дней: 4
