Детальная информация
| Название | Технология кремниевых инерциальных датчиков // Материалы... 29 ноября- 4 декабря 2004 г. – 2005. – Радиофизический факультет. — Ч.6 |
|---|---|
| Авторы | Комаревцев И.М. ; Казакин А.Н. ; Пятышев Е.Н. |
| Другие авторы | Глухов В.В. |
| Организация | Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Межвузовская научная-техническая конференция, Неделя науки (33; 2004; Санкт-Петербург) ; Совет СПбГПУ по научно-исследовательской работе студентов |
| Выходные сведения | СПб., 2005 |
| Коллекция | Общая коллекция |
| Тематика | датчики ; кремниевые датчики ; жертвенные слои ; макропористый кремнии ; микропористый кремний |
| Тип документа | Статья, доклад |
| Тип файла | |
| Язык | Русский |
| Права доступа | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\10881 |
| Дата создания записи | 07.11.2005 |
| Место доступа | Группа пользователей | Действие |
|---|---|---|
| Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
| Интернет | Все |
|
Количество обращений: 1293
За последние 30 дней: 20
