Проблема фоторезиста для нанолитографии // XXXIV неделя науки СПбГПУ: материалы Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов: 28 ноября - 3 декабря 2005 г. – 2006. – Ч.4 : Физико-механический факультет

Информация о документе