Фундаментальные исследования в технических вузах


Пятышев Е. Н. Типовые технологические маршруты для элементной базы микросистемной техники /Е. Н. Пятышев //Научно-технические ведомости СПбГТУ. - 2005. - №1 (39). - С. 127-135.