|
Пособие соответствует государственному образовательному стандарту по дисциплине
"Физико-химические основы технологии полупроводников" для студентов, обучающихся по программе
бакалавров по направлению 550100 "Техническая физика". Рассмотрены основные физико-химические
инструменты полупроводниковой технологии - пучковые потоки, низкотемпературная плазма,
газофазная эпитаксия. Изучение этих разделов является особенно полезным на начальных этапах
участия студентов в реальных условиях научных исследований, как экспериментальных (технологических
и материаловедческих), так и теоретических. Предназначено для студентов, обучающихся по
специальностям 553101 "Прикладная физика твердого тела", 553102 "Физика и техника полупроводников",
студентам старших курсов и аспирантам, специализирующихся в области технологии и исследования
твердого тела. Предназначено для студентов физико-технического факультета.
|