Пособие соответствует государственному образовательному стандарту дисциплины СДМ.04 “Диагностика низкотемпературной плазмы” направления подготовки дипломированных специалистов 553100 “Техническая физика”, магистерской программы 553115. Пособие является основным к лекционному курсу “Диагностика низкотемпературной плазмы” и предназначено для освоения экспериментальных методов исследования слабоионизованной плазмы. Цель данного пособия – ознакомление студентов с физическими основами диагностики плазмы при малых степенях ионизации, именно для тех условий, в которых плазма находит широкое применение в технике и технологии. Рассматриваются различные виды диагностик – от традиционных зондовых методов до современных лазерных диагностик. Предназначено для студентов, обучающихся на магистерском уровне по направлению “Техническая физика”, а также для студентов и аспирантов, изучающих другие физические специальности.

• 1. Измерение электрических характеристик
  • 1.1. Делитель напряжения и его динамические характеристики
  • 1.2. Измерение токов
  • 1.3. Измерение мощности в ВЧ и СВЧ диапазоне
• 2. Зондовые методы диагностики плазмы
  • 2.1. Схема эксперимента
  • 2.2. Режимы работы зондов
  • 2.3. Вольт-амперная характеристика ленгмюровского зонда, токи насыщения
  • 2.4. Понятие слоя
  • 2.5. Электронный ток насыщения
  • 2.6. Ионный ток насыщения
  • 2.7. Переходный участок ВАХ
  • 2.8. Двойной зонд
• 3. Измерение потоков заряженных частиц из плазмы
  • 3.1. Анализаторы энергии заряженных частиц
  • 3.2. Квадрупольный масс-спектрометр
• 4. Методы измерения проводимости и диэлектрической проницаемости плазмы
  • 4.1. Проводимость слабоионизованной плазмы
  • 4.2. Реализация измерений в низкочастотном диапазоне
  • 4.3. Методы измерений при высоких частотах зондирования
• 5. Диагностика плазмы по собственному излучению
  • 5.1. Собственное излучение плазмы.
  • 5.2. Измерение теплового излучения плазмы в СВЧ диапазоне
  • 5.3. Исследование излучения плазмы в оптическом диапазоне
• 6. Методы, основанные на рассеянии лазерного излучения
  • 6.1. Томсоновское, релеевское и комбинационное рассеяние в слабоионизованной плазме
  • 6.2. Метод резонансной флуоресценции