Техника и технологии нанесения покрытий : учеб. пособие / В. Я. Фролов [и др.] ; СПбГПУ. — СПб. : Изд-во Политехн. ун-та, 2008. — 386 с. : ил. |
||
| Учебное пособие соответствует содержанию дисциплины «Плазменная, лазерная и лучевая техника и технология» по направлениям подготовки бакалавров и магистров 140400 «Техническая физика» и 140600 «Электротехника, электромеханика и электротехнология», дипломированных специалистов 140605 «Электротехнологические установки и системы». Учебное пособие посвящено описанию теории, методам и процессам плазменной технологии нанесения покрытий. Представлены конструкции различных дуговых и высокочастотных плазмотронов, лазерных, электронно-лучевых и ионно-вакуумных установок для формирования пленок. Описаны режимы работы оборудования и основные параметры технологического процесса.Предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавров и магистров 140400 «Техническая физика» и 140600 «Электротехника, электромеханика и электротехнология», дипломированных специалистов 140605 «Электротехнологические установки и системы», по дисциплинам «Плазменная, лазерная и лучевая техника и технология». Может быть использовано в системах непрерывного профессионального образования. |