Работа посвящена исследованию процессов агломерации диэлектрических частиц при формировании нанопокрытий. Разрабатываются математические модели для определения качественных и количественных закономерностей образования трех типов агломератов: цепочек нановещества, сферических крупных частиц и разветвленных поверхностных объектов. Разработаны вычислительные методы и многопроцессорное программное обеспечение для получения количественных соотношений рассматриваемых явлений и процессов. Помимо численного анализа, также представлено точное решение для потенциала в области доставки материала до подложки для случая плазмохимического осаждения при атмосферном давлении.