Детальная информация
Название | Capacitive MEMS microphones for medical applications // Информатика, телекоммуникации и управление. – 2021. – С. 65-78 |
---|---|
Авторы | Loboda V. V.; Salamatova U. V. |
Выходные сведения | 2021 |
Коллекция | Общая коллекция |
Тематика | Энергетика; Электротехнические материалы и изделия в целом; capacitive microphones; microelectromechanical systems; low-frequency microphones; MEMS Microphones; microphone sensitivity; microphone membranes; data transfer; ёмкостные микрофоны; микроэлектромеханические системы; низкочастотные микрофоны; МЭМС-микрофоны; чувствительность микрофонов; микрофонные мембраны; медицинская техника |
УДК | 621.3.002.3 |
ББК | 31.23 |
Тип документа | Статья, доклад |
Тип файла | |
Язык | Английский |
DOI | 10.18721/JCSTCS.14205 |
Права доступа | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\68033 |
Дата создания записи | 29.03.2022 |
Microphones manufactured based on MEMS technology have been significantly applied in medicine. However, medical application requires more sensitive and low-frequency MEMS microphones. To achieve this goal capacitive microphones are the most appropriate as they have a low level of noise and high sensitivity compared to piezoelectric and piezoresistive microphones. The structure and materials enable to change electric parameters of microphones for better. To increase sensitivity it is possible to find a membrane structure when internal mechanical resistivity is minimal. When MEMS structures are ideally found, a frequencies range can be expanded. Membrane flexibility can be expanded by means of applying meshes at the edges, corrugations and springs.
Микрофоны, произведенные по технологии МЭМС, находят новое применение и в медицине. Однако для медицины нужны более чувствительные и низкочастотные МЭМС-микрофоны. Для этой цели больше всего подходят ёмкостные микрофоны, так как они имеют низкий уровень шумов и высокую чувствительность по сравнению с пьезоэлектрическими и пъезорезистивными микрофонами. Конструкция и материалы позволяют изменять электрические параметры микрофона в лучшую сторону. Повысить чувствительность можно путем подбора такого состава в структуре мембраны, при котором будут минимальны внутренние механические напряжения. Подобрав конструкцию МЭМС, можно расширить и частотный диапазон. Увеличить податливость мембраны можно за счет применения прорезей по краям, гофр и пружин.
Количество обращений: 247
За последние 30 дней: 26