Детальная информация
| Название | Определение толщины покрытий методом рентгенофлуоресцентного анализа с использованием градуировочной зависимости, полученной расчетным путем = The thickness determination of coatings by X-ray fluorescent analysis using a calibration curve obtained by calculations // Научно-технические ведомости Санкт-Петербургского государственного политехнического университета. Сер.: Физико-математические науки. – 2026. – Т. 19, № 2. — С. 76-83 |
|---|---|
| Авторы | Козловский С. С. ; Гуньков П. С. ; Бердников Я. А. ; Донских-Тырса В. А. |
| Выходные сведения | 2026 |
| Коллекция | Общая коллекция |
| Тематика | Физика ; Молекулярная физика в целом ; рентгенофлуоресцентный анализ ; толщина покрытий ; тонкие пленки ; определение толщины покрытий ; градуировочные зависимости ; расчет градуировочных зависимостей ; калибровочные кривые ; X-ray fluorescence analysis ; coating thickness ; thin films ; determination of coating thickness ; calibration curves ; calculation of calibration curves |
| УДК | 539.19 |
| ББК | 22.36 |
| Тип документа | Статья, доклад |
| Язык | Русский |
| DOI | 10.18721/JPM.19207 |
| Права доступа | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Дополнительно | Новинка |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\80256 |
| Дата создания записи | 11.11.2026 |
При измерении толщины покрытия методом рентгенофлуоресцентного анализа (РФА) требуется провести предварительную калибровку системы регистрации на эталонных образцах с известной толщиной покрытия. Такая операция занимает довольно много времени и дает результат лишь для определенной системы регистрации и пары элементов (базового материала и его покрытия). В настоящей работе калибровочная кривая определена расчетным методом Монте-Карло с использованием программы MCC 3D. Так были получены зависимости отношения интенсивностей линий флуоресценции Fe K[alpha] (подложка) и Zn K[alpha] (покрытие), а также Cu K[alpha] (подложка) и Au L[alpha] (покрытие) от значений толщины покрытий. Кроме того, рассчитаны погрешности определения толщины покрытий и сделан вывод о возможности применения метода Монте-Карло для расчета толщины покрытия без предварительной градуировки. Помимо этого, были рассчитаны оптимальные углы установки детекторов относительно нормали для расчета толщины покрытия методом РФА.
When measuring a coating thickness by X-ray fluorescent analysis, the preliminary calibration of the detection system is required using reference samples with a known coating thickness. This operation is quite time-consuming and gives results only for a certain detection system and a pair of elements (the base material and coating). In our study, the calibration curve has been obtained by the Monte Carlo calculation method using the MCC 3D software. In so doing, we calculated the dependences of the ratios of peak intensities of fluorescence lines from Fe K[alpha] (substrate) and Zn K[alpha] (coating), as well as Cu K[alpha] (substrate) and Au L[alpha] (coating) on the values of coating thickness. Moreover, the coating thickness determination errors were obtained. A conclusion was made about the possibility of using the Monte Carlo method to determine the coating thickness without preliminary calibration.
| Место доступа | Группа пользователей | Действие |
|---|---|---|
| Локальная сеть ФБ СПбПУ | Все |
|
| Интернет | Все |
|
